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    產品資料

    納米級別二氧化硅 SiO2標準粒子

    如果您對該產品感興趣的話,可以
    產品名稱: 納米級別二氧化硅 SiO2標準粒子
    產品型號: 晶圓表面用
    產品展商: 美國
    產品文檔: 無相關文檔

    簡單介紹

    納米級別二氧化硅 SiO2標準粒子:易于微粒子撒粒系統、晶圓表面污染/缺陷檢查系統或各類分析儀器偵測與量測尺寸峰值,納米級別二氧化硅 SiO2標準粒子


    納米級別二氧化硅 SiO2標準粒子  的詳細介紹

    納米級別二氧化硅 SiO2標準粒子

    供應商:上海瑞貝貿易有限公司

    產品名稱:

    SiO2微粒子標準溶液

    納米級別二氧化硅

    SiO2標準粒子

    晶圓表面用二氧化硅

     

    NanoSilica? 微粒子標準溶液是由MSP Corporation制作的高度均勻尺寸SiO2微粒子濃縮水溶液,微粒子尺寸從18nm到200nm都可選擇,是市面上理想、質量較高的校正標準,適用于新一代的晶圓表面污染/缺陷檢查系統及光罩檢查系統。

       先進的半導體檢查技術已經發展到小于30nm,以往使用Polystyrene latex (PSL)球形化粒子即可做晶圓表面污染/缺陷檢查系統及光罩檢查系統的校正,但新一代的檢查系統使用到Deep ultraviolet (DUV) or Extreme ultraviolet (EUV)才能檢查小于20nm的污染或缺陷,當UV光重復打在PSL球形化粒子上,將影響到PSL球形化粒子的質量; 由于SiO2微粒子在DUV及EUV的照射下擁有穩定的質量,因此SiO2微粒子是較好的替代產品。

    NanoSilica? 微粒子標準溶液是使用有磚利的SiO2合成技術,可以做到如PSL球形化粒子一樣的尺寸分布,從目前小的微粒子尺寸來看,NanoSilica? 微粒子標準溶液是尺寸均勻,適合做尺寸大小峰值的量測的工具。

    NIST-traceable NanoSilica? 微粒子標準溶液是MSP Corporation透過National Institute of Standards and Technology (NIST)追溯到標準單位的產品,加上ISO 9000與SEMI的認證,讓良率提升及表面檢查和缺陷評估有所依據。

    NanoSilica? 微粒子標準溶液使用15-mL滴定,讓使用者操作更方便。每一瓶溶液的卷標皆標示產品編號、生產編號、微粒子尺寸峰值、尺寸分布半高寬及有效期限,而且提供NIST-traceable證明書與Material Safety Data Sheet (MSDS)說明書。

    產品優勢

    ?尺寸大小分布均勻

    ?NIST traceability 的尺寸大小

    ?DUV及EUV的照射下擁有穩定的質量

    ?高濃縮度微粒子懸浮溶液

     

    產品效益

    ?易于微粒子撒粒系統、晶圓表面污染/缺陷檢查系統或各類分析儀器偵測與量測尺寸峰值

    ?可避免平均尺寸與尺寸峰值的差異性

    ?適合氣膠產生設備使用

    ?提供耐久校正標準給先*進的檢測設備使用

    ?省錢而且耗用量少

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